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ページID：111993更新日：2024年2月26日

エネルギー分散型微小部X線分析装置

走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置が一体となった装置。
走査型電子顕微鏡（SEM）は、試料に電子線を当てることで試料から返ってくる反射電子あるいは二次電子を検出して像を結び、試料を高倍率で観察できます。
また、試料に電子線を当てると、電子線のほか、特性X線も発生します。この特性X線をとらえ、元素の分析を行うのがエネルギー分散型X線分析装置（EDS）です。特性X線のエネルギー値は元素により固有の値をとり、エネルギー分散型X線分析装置を使って発生した特性X線を解析することで、試料に含まれる元素やその組成などを知ることができます。
微小部の観察と同時に元素分析、解析を行うことができます。

【この装置は平成26年度「公益財団法人JKA補助事業（競輪の補助金）」により導入しました。】

エネルギー分散型微小部X線分析装置紹介パネル（PDF：1,123KB）

機種名

株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社堀場製作所

走査型電子顕微鏡：SU3500

エネルギー分散型X線分析装置：EMAXEvolutionX-Max20

仕様

【走査型電子顕微鏡（SEM）】

二次電子像分解能	3.0nm（加速電圧30kV、高真空）7.0nm（加速電圧3kV、高真空）
反射電子像分解能	10.0nm（加速電圧5kV、高真空）4.0nm（加速電圧30kV、低真空）
観察倍率	5～300,000倍（4×5写真倍率）
加速電圧	0.3～30kV
低真空度設定	6～650Pa
最大試料寸法	φ200mm×高さ80mm
試料ステージ	5軸（X、Y、Z、R、T）モーターステージ

 

【エネルギー分散型X線分析装置（EDS）】

測定可能元素

4Be～98Cf

 

設備使用料

2,730円/1時間

依頼試験手数料

4,230円/1件（像観察）

6,350円/1件（定性分析）

担当

機械電子技術部

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