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ページID：112016更新日：2024年2月26日

表面粗さ輪郭形状測定機

本装置は、従来のX軸以外に、Y軸ステージが搭載されたCNC機であり、プログラムによる多数個の連続自動測定、斜め測定および三次元的な面測定・評価が可能です。
また1回の測定(トレース)で任意位置の波形を抽出し、粗さ解析や輪郭形状解析が可能であり、さらにZ軸追従測定機能が付加され、検出器の測定範囲よりもオーバーした場合でも、コラムが追随するため、従来機では複数回に分けていた測定も一回で測定可能となります。

【この装置は平成20年度「公益財団法人JKA補助事業（競輪の補助金）」により導入しました。】

機種名

株式会社ミツトヨ

フォームトレーサエクストリームCS-H5000CNC

仕様

【X軸】

測定範囲	200mm
指示精度	±(0.16+0.001L)μm
分解能	6.25nm
真直度	標準スタイラス：(0.05+0.0003L)μm2倍スタイラス：(0.1+0.0015L)μm

 

【Z軸】

測定範囲	標準スタイラス：12mm、2倍スタイラス：24mm
指示精度	±(0.07+｜0.02H｜)μm
分解能	標準スタイラス：4nm、2倍スタイラス：8nm

 

【測定力】

標準スタイラス	4mN一定
2スタイラス	0.75mN一定

設備使用料

610円/1時間

依頼試験手数料

950円/1件

担当

機械電子技術部

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