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ページID：112019更新日：2023年12月22日
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非接触全自動測定システム
測定物のエッジ部などを画像認識することで、寸法測定や形状測定を非接触により行える装置です。
また、測定プログラムを作成することにより繰り返し測定を行うことも可能です。
【この装置は平成18年度に導入しました。】
機種名
ニコンインスツルメンツ
NEXIVVMR-1515タイプ2
仕様
| 測定精度（U1X、U1Y） | 1.5＋4L/1,000μm |
| 測定精度（U2X、Y） | 2.5＋4L/1,000μm |
| Z軸測定精度 | 1.5＋L/150μm |
| 測定ストローク（X、Y、Z） | 150×150×150mm |
| 最小表示単位 | 0.1μm |
設備使用料
1,540円/1時間
担当
機械電子技術部
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