ページID:114955更新日:2024年9月26日

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レーザー干渉式平面度測定機

レーザー干渉式平面度測定機

He-Neレーザーを光源とした干渉縞で、試料表面の高低差を非接触測定する装置。

特に、鏡面加工された半導体ウエハやガラス基板などの平面度を、高精度に測定することが可能。

高精度加工された製品の品質評価に活用できる。

【この装置は令和5年度「地方創生交付金」により導入しました。】

機種名

アメテック株式会社ザイゴ事業部 

Verifire

仕様

測定原理 フィゾー式レーザー干渉計
測定方法

位相シフト式干渉法(PSI)

光源 He-Neレーザー 波長633nm
解像度 1200×1200画素
測定ビーム径 4インチ 6インチ
RMS値再現性精度 0.06nm未満
RMS値波面繰り返し精度 0.35nm未満

 

設備使用料

 

3,610円/1時間

依頼試験手数料

3,010円/1件

担当

甲府技術支援センター
機械技術部

このページに関するお問い合わせ先

山梨県産業政策部産業技術センター 
住所:〒400-0055 甲府市大津町2094
電話番号:055(243)6111   ファクス番号:055(243)6110

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