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ページID：114955更新日：2024年4月25日
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レーザー干渉式平面度測定機
He-Neレーザーを光源とした干渉縞で、試料表面の高低差を非接触測定する装置。
特に、鏡面加工された半導体ウエハやガラス基板などの平面度を、高精度に測定することが可能。
高精度加工された製品の品質評価に活用できる。
【この装置は令和５年度「地方創生交付金」により導入しました。】
機種名
アメテック株式会社ザイゴ事業部
Verifire
仕様
| 測定原理 | フィゾー式レーザー干渉計 |
| 測定方法 |
位相シフト式干渉法（PSI) |
| 光源 | He-Neレーザー 波長633nm |
| 解像度 | 1200×1200画素 |
| 測定ビーム径 | 4インチ 6インチ |
| RMS値再現性精度 | 0.06nm未満 |
| RMS値波面繰り返し精度 | 0.35nm未満 |
設備使用料
3,610円/1時間
依頼試験手数料
3,010円/1件
担当
甲府技術支援センター
機械技術部
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