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ページID：78684更新日：2021年9月8日

電界放出型走査電子顕微鏡

電子線を試料に照射した時に放出される二次電子を検出して、表面形状の高倍率観察ができる装置です。
エネルギー分散型X線分光分析(EDS)も搭載しているため、試料の元素分析を行うことも可能です。

※本装置は「電源地域産業関連施設等整備費補助金」により導入しました。 

機種名

日本電子株式会社

JSM-7100F/TTLS/EDS

仕様

電子銃	ショットキー電界放出
加速電圧	0.5～30kV
二次電子像分解能	1.2nm
設定倍率	10～100万倍
元素分析	Be(4)～U(92)

設備使用料

3,760円／1時間

依頼試験手数料

7,210円／1件（観察）

15,970円／1件（分析及び観察）

担当

工業材料科