ページID:114953更新日:2024年9月26日

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白色干渉方式表面形状測定機

白色干渉方式表面形状測定機

白色干渉縞を用いて、表面粗さや微少形状を、高精度に非接触測定する装置。

ナノレベルの試料表面形状を3次元的に測定・表示することが可能。

半導体や光学部品、金型など、精度が求められる製品の品質評価に活用できる。

【この装置は令和5年度「地方創生交付金」により導入しました。】

機種名

アメテック株式会社ザイゴ事業部

Nexview NX2

仕様

測定方式 直立走査型低コヒーレンス干渉法
光源 高輝度白色LED
スキャン範囲

ピエゾンスキャン150μm 

モータースキャン20mm

RMS再現性:0.005nm

表面形状再現性:0.06nm

電動XYステージ 200mm×200mmストローク
カメラ画素数 1,600×1,200、1,000×1,000画素
光学式ズーム 3ポジション電動タレット式
対物レンズ 1x、10x、20x、50x

設備使用料

8,690円/1時間

依頼試験手数料

5,540円/1件

担当

甲府技術支援センター
機械技術部

このページに関するお問い合わせ先

山梨県産業政策部産業技術センター 
住所:〒400-0055 甲府市大津町2094
電話番号:055(243)6111   ファクス番号:055(243)6110

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