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ページID：114931更新日：2024年4月25日
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高精度電子プローブマイクロアナライザ（電子プローブマイクロアナライザ）
測定物に電子線を照射することにより、形状や材質を調べる装置です。発生する特性X線の波長によって元素を特定する検出器（WDS）に加えて、発生する軟X線により化学結合状態を分析する検出器（SXES）も有しています。
これまで不可能であった微量成分が分析可能となるため、半導体の高性能化に向けた材料開発にもご利用いただけます。
【この装置は令和５年度「地方創生交付金」により導入しました。】
機種名
日本電子（株）
JXA-iHP200F
仕様
| 電子銃 | 電界放出型 |
| 電子顕微鏡像の種類 | 二次電子像、反射電子像 |
| 走査倍率 | 40～300,000倍 |
| 加速電圧 | 1～30kV（0.1kVステップ） |
| 最大試料サイズ | 100×100×50mm |
| 分析領域 | 90mm×90mm |
| 検出器 | EDS、WDS、SXES-ER |
| 分析可能元素範囲 | 5B～92U（EDS、WDS） |
設備使用料
8,550円／1時間（エネルギー分散型分析）
9,520円／1時間（波長分散型分析）
14,760円／1時間（軟エックス線分析）
依頼試験手数料
7,770円／1件 （像観察）
11,970円／1件 （定性分析(波長分散型分析装置)）
11,970円／3元素（面線定性分析(波長分散型分析)）
21,510円／1件 （定性分析(軟エックス線分析)）
担当
甲府技術支援センター
材料・燃料電池技術部 工業材料科
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