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ページID:92144更新日:2019年11月1日

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産業技術センタープロポーザル

【山梨県産業技術センタープロポーザル】

産業技術センターをより活用していただくため、センターの研究や設備などをわかりやすく紹介します。

TOPIC:【設備紹介】金属薄膜の厚みを計測する装置ー蛍光エックス線膜厚計の紹介ー

■JKAの補助事業

山梨県産業技術センターは、公益財団法人JKAから、2019年度公設工業試験研究所等の設備拡充補助事業による補助金(競輪の補助金)の交付を受け、設備の拡充等を行いました。
今回は、その2機種「蛍光エックス線膜厚計」「自動フォーカス微小硬さ試験機」のうち「蛍光エックス線膜厚計」についてご紹介いたします。

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■蛍光エックス線膜厚計とは

蛍光エックス線膜厚計は、試料にエックス線を照射し、そこから発生する蛍光エックス線(2次エックス線)の強度からめっきなどの金属薄膜の厚みを計測する装置です。
蛍光エックス線による膜厚測定は試料を非破壊で測定でき、10秒~数分間程度の短時間で測定可能です。
微小領域の多層めっき膜や合金めっき膜の測定が可能で、様々なめっき製品の膜厚測定に活躍します。

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☆導入した蛍光エックス線膜厚計EA6000VX:(株)日立ハイテクサイエンス

■膜厚を測定する手法

蛍光エックス線強度から膜厚を測定する手法には、厚み既知の標準試料を使用する検量線法と、試料の組成等の基本的な定数(ファンダメンタルパラメータ:FP)から理論計算により膜厚を算出するFP法があります。FP法では厚さ既知の標準試料を用意しなくても膜厚を求めることができ、多様なめっきに対応できる方法です。そのため、電子機器のめっきや工業部品めっきをはじめとして、広い分野で品質管理に使用されています。

 

■機器の用途

本機器の主な対象であるめっきは様々な工業製品で利用されており、幅広い分野で活用ができます。本機器を導入により、県内の中小企業の事業者が主に以下の用途で利用することができます。
[1]自動車部品や機械筐体などの一般めっき製品
[2]プリント基板やリードフレーム、コネクタなどの精密電子部品
[3]山梨県の地場産業である宝飾品向けの貴金属めっき製品

 

■今後の展開

近年は、精密電子部品の各種めっきの測定要望が増えています。例えば、0.1μm未満の薄い金めっき、スズ系の合金(はんだ)めっきなどの多様なめっきへの対応が必要です。また電子部品の一部微小領域の測定や、部品各所を連続して評価する多点測定も求められます。現有機器ではこれら要望へ応えることは困難でした。本機器はこれらのニーズに対応できます。さらに、様々な機能性めっきの測定にも対応可能であり、成長産業分野(クリーンエネルギー、スマートデバイス、生産機器システム、医療機器)への活用拡大も期待されます。

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■担当からひと言

企業の皆様には積極的にご活用いただきたいと思います。機器の詳細については、化学・燃料電池科までお問合せください。

 

化学・燃料電池科

 

このページに関するお問い合わせ先

山梨県産業労働部産業技術センター 
住所:〒400-0055 甲府市大津町2094
電話番号:055(243)6111   ファクス番号:055(243)6110

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