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ページID：78755更新日：2021年9月8日
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微小押し込み硬さ試験機
圧子の押し込み動作により、薄膜の硬度を測定する装置です。薄膜の機械的強度を測定し、半導体薄膜デバイス、金属・樹脂材料の薄膜コーティングなどの評価に用います。
機種名
アジレント・テクノロジー株式会社
ナノインデンターG200
仕様
| 荷重範囲 | 50nN～500mN |
| 変位測定分解能 | 0.01nm |
| 最大押し込み深さ | 500μm |
| 圧子形状 | バーコビッチ、ビッカース |
ISO14577Part1,2,3準拠
顕微鏡（10、40、100倍）による表面観察が可能
設備使用料
2,050円／1時間
担当
工業材料科
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