非接触全自動測定システム

名称	非接触全自動測定システム
メーカー	ニコンインスツルメンツ
型式	NEXIV VMR-1515タイプ2
概要	測定物のエッジ部などを画像認識することで、寸法測定や形状測定を非接触により行える装置です。また、測定プログラムを作成することにより繰り返し測定を行うことも可能です。
仕様	●測定精度（U1X,U1Y） 1.5＋4L/1,000μm ●測定精度（U2X・Y） 2.5＋4L/1,000μm ●Z軸測定精度 1.5＋L/150μm ●測定ストローク（X,Y,Z） 150×150×150mm ●最小表示単位 0.1μm
分類	精密測定機器
導入年度	平成18年度
補助事業名	県単
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