ページID:64849更新日:2021年8月26日

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表面粗さ輪郭形状測定機

名称 表面粗さ輪郭形状測定機
メーカー 株式会社ミツトヨ製
型式 フォームトレーサエクストリーム CS-H5000CNC
概要 本装置は、従来のX軸以外に、Y軸ステージが搭載されたCNC機であり、プログラムによる多数個の連続自動測定、斜め測定および三次元的な面測定・評価が可能です。
また1回の測定(トレース)で任意位置の波形を抽出し、粗さ解析や輪郭形状解析が可能であり、さらにZ軸追従測定機能が付加され、検出器の測定範囲よりもオーバーした場合でも、コラムが追随するため、従来機では複数回に分けていた測定も一回で測定可能となります。
仕様

X軸
測定範囲:200mm
指示精度:±(0.16+0.001L)μm
分解能:6.25nm
真直度:標準スタイラス:(0.05+0.0003L)μm
             2倍スタイラス:(0.1 +0.0015L)μm

Z軸
測定範囲:標準スタイラス:12mm、2倍スタイラス:24mm
指示精度:±(0.07+|0.02H|)μm
分解能:標準スタイラス:4nm、2倍スタイラス:8nm

測定力
標準スタイラス:4mN一定
2スタイラス:0.75mN一定

分類 精密測定機器
導入年度 平成20年度
補助事業名 平成20年度自転車等機械工業振興補助事業(公益財団法人JKA)
装置写真

表面粗さ輪郭形状測定機

このページに関するお問い合わせ先

山梨県産業労働部産業技術センター 担当:機械電子技術部(富士吉田市下吉田6-16-2)
住所:〒400-0055 甲府市大津町2094
電話番号:0555(22)2100   ファクス番号:0555(23)6671

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