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ページID：78700更新日：2021年9月8日

クロスセクションポリッシャー

本装置は、ドライ排気されたチャンバ内で、イオンビームで試料加工を行います。
試料移動機構は、イオンビームに対する平行度と照射位置調整ができるため、容易に加工の位置決めができます。遮蔽材に沿いイオン照射させ断面を形成させるSEM/EPMA用などの試料作製装置です。
従来の研磨では完璧な鏡面仕上げが難しいやわらかい銅、アルミ、金、ハンダ、高分子など、切断の難しい硬いセラミックスやガラス、また、これらの硬い材料とやわらかい材料が混在している物の鏡面仕上げができます。

機種名

日本電子株式会社

SM-09010

仕様

設備使用料

740円／1時間

担当

機械技術部