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ページID：78849更新日：2021年9月8日

極表面分析装置（X線光電子分光分析装置）

試料にX線を照射し、試料から発生した光電子の運動エネルギーを測定することで試料表面に存在する元素と、その結合状態を分析する装置です。
極表面（外界からの境界から5nmから10nm程度の深さ）の分析が可能です。表面の汚れや変色、薄膜の分析に有効です。

※本装置は「電源地域産業関連施設等整備費補助金」により導入しました。

機種名

日本電子株式会社

JPS-9010TR

仕様

X線源	Al/MgデュアルアノードX線銃およびモノクロX線銃
最大試料サイズ	直径90ミリ
測定元素	Li～U
分析最小領域	φ0.2mm

設備使用料

6,760円/時間

依頼試験手数料

15,110円/測定（エッチング無）
27,860円/測定（エッチング有）

担当

工業材料科