トップ > 組織案内 > 山梨県産業技術センター > 甲府技術支援センター > 非接触表面形状測定機

ページID：78606更新日：2021年9月8日

非接触表面形状測定機

白色光を用いて非接触で表面粗さや微細形状を高精度に測定する装置です。
測定対象物として、ガラスやセラミックス類などの絶縁材料や金属材料等に関わらず、干渉縞が生じる表面であれば、ナノメータ単位の精度で表面形状（粗さ）の測定が可能です。
また、測定可能な表面の凹凸は1nm～150μmと広範囲なので幅広い測定物を対象にすることが可能です。

本装置は「電源地域新事業支援施設等整備費補助金」により導入しました。

機種名

ZYGO株式会社

NewView6300

仕様

垂直分解能	0.1nm
垂直測定範囲	最大150μm
測定範囲再現性	0.1％以下（1σ）
RMS再現性	0.1nmrms

設備使用料

3,190円／1時間

依頼試験手数料

3,920円／1件

担当

機械技術部