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ページID：78549更新日：2021年9月8日
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表面形状測定機（走査型プローブ顕微鏡システム）
カンチレバーと試料表面に働く相互作用力（原子間力等）を検出し、微小領域の表面形状を測定する装置です。
機種名
エスアイアイ・ナノテクノロジー
SPI3800N
仕様
| 測定モード | AFM,DFM |
| 試料サイズ | 径φ150mm、高さ40mm |
| ストローク | X:150mm、Y:110mm、Z:25mm |
| 変位検出方法 | 光てこ方式 |
設備使用料
2,110円／1時間
依頼試験手数料
3,130円／1件
担当
機械技術部
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