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ページID：64830更新日：2021年8月26日
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エネルギー分散型微小部X線分析装置
| 名称 | エネルギー分散型微小部X線分析装置 |
| メーカー | 株式会社日立ハイテクノロジーズ 株式会社堀場製作所 |
| 型式 | 走査型電子顕微鏡：SU3500 エネルギー分散型X線分析装置：EMAX Evolution X-Max20 |
| 概要 | 走査型電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置が一体となった装置です。 走査型電子顕微鏡（SEM）は、試料に電子線を当てることで試料から返ってくる反射電子あるいは二次電子を検出して像を結び、試料を高倍率で観察できます。 また、試料に電子線を当てると、電子線のほか、特性X線も発生します。この特性X線をとらえ、元素の分析を行うのがエネルギー分散型X線分析装置（EDS）です。特性X線のエネルギー値は元素により固有の値をとり、エネルギー分散型X線分析装置を使って発生した特性X線を解析することで、試料に含まれる元素やその組成などを知ることができます。 微小部の観察と同時に元素分析、解析を行うことができます。 |
| 仕様 | 【走査型電子顕微鏡（SEM）】 ●二次電子像分解能：3.0nm（加速電圧30kV、高真空） 7.0nm（加速電圧 3kV、高真空） ●反射電子像分解能：10.0nm（加速電圧 5kV、高真空） 4.0nm（加速電圧30kV、低真空） ●観察倍率：5～300,000倍（4×5 写真倍率） ●加速電圧：0.3～30kV ●低真空度設定：6～650Pa ●最大試料寸法：φ200mm×高さ80mm ●試料ステージ：5軸（X,Y,Z,R,T）モーターステージ 【エネルギー分散型X線分析装置（EDS）】 ●測定可能元素：4Be～98Cf |
| 分類 | 分析関連機器 |
| 導入年度 | 平成26年度 |
| 補助事業名 | 平成26年度公設工業試験研究所等における機械等設備拡充補助事業（公益財団法人JKA） |
| 装置写真 |
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